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改進(jìn)說明：

1.從現(xiàn)場測繪尺寸看，現(xiàn)行版本接近veeco原廠版本；

2.將B7寬度從20.8mm縮減至19.75mm，增加B7部分的功率，提高M(jìn)ID2和錸外圈的溫度；

3.將B2和B3寬度加寬，以適當(dāng)降低該區(qū)域溫度，以改善35*4以后該區(qū)溫度均勻性。

以上是在以往經(jīng)驗基礎(chǔ)上提出的方案。如果提高方案的合理性，需要客戶提供mapping圖。